第570章 光刻工厂，选择(4/5)

”“民营企业搞科研，就算是再离谱，只要不违法，上面也不会轻易叫停。”“所以，这些批评的声音我一点都不在乎。”“这就是我为什么要创办一个银河科技的重要目的，有些研究，如果没有自有资金来源支持的话，根本无法推进下去。”“徐叔也是前辈了，光刻工厂这样的科研项目，如果依靠上面拨经费的话，通过的概率有多少，我想徐叔应该心里清楚。”“在我搞出白泽量子计算机之前，没有人会相信我会这么快搞出来。”“在我研发出‘力士’号火箭发动机之前，没有人会相信我能研发出来，都觉得我太过狂妄，如此跨界。”“现在，光刻工厂也被人质疑，我我根本没有半点解释的想法。”“时间会证明一切的。”王东来说到这里，停顿了一下，脸上露出了一丝笑意。“对于外人，我没有这个时间去解释，也不想去解释。”“但是徐叔不是外人，我也明白徐叔是为了我好。”“所以，我倒是可以和徐叔简单地聊一聊。”徐松尧的眼睛一亮，顿时来了兴趣。“徐叔应该知道SSMB的概念吧，SSMB光源最诱人的地方就在于它可以提供各种各样波长的射线，从波长13.5nm的极紫外线，再到5nm波长的软X射线，都能轻轻松松的提供，并且功率最大可以达到4kw，远超cymer公司的锡滴轰击法。”“不过同样的，SSMB也要进行原理验证试验，完成束流动力学，瓦光源物理设计和等等。”“这些工作，看上去很简单，但是都需要大量的时间。”“这要是申请科研经费的话，就是极大的缺陷。”“但是在银河科技这里，就不是什么问题了。”“……”听着王东来的大致解释，徐松尧也有些明白了。想了一下，就提出了自己的问题。“东来，光刻机本来的能耗就很大，按照你的设想，直接做成了光刻工厂，那么能耗就更加严重了，这一点，你有没有考虑过？”王东来轻轻笑了笑，就出声解释道：“徐叔，这一点，我当然明白。”“光刻机的能耗大，主要是因为它要维持金属蒸汽，产生高能打靶激光，产生的光在蒸汽中被吸收，深紫外线极其容易被物质吸收，光路上被反射膜、透镜和管道吸收等。”“而变成了光刻工厂的话，就主要集中在电子加速以及磁场维持，以及产生诱导激光和产生的的光在光路上被反射膜、透镜和管道上吸收。”“这个问题，我通过数学模型模拟了很多次，其实